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通用型控氧潔凈烘箱 DF系列
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主要特點
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1
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1. 內置耐高溫過濾器
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2. 全密封箱體設計，特別送氮和排氧回路，防氧化
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3. 配置3.5” 中英文彩色可編程雙路控制器。
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4. 運行溫度可到250/350℃
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5. 實時微量氧濃度PPM檢測系統（可選）
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6. 多種內容積可選或定制
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7. 可選配CBI自制氮氣模塊，滿足無氮場合
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1
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產品主要應用
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1. PI/BCB 膠高溫厭氧固化
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2. 環氧樹脂膠厭氧固化
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3. 晶圓退火或鈍化
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4. MSD芯片防氧化低濕干燥
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