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主要特點 |
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1. 內置耐高溫高效過濾器，100級無塵環境 |
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2. 穩定運行溫度可250~450℃選擇 |
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3. 實時微量氧濃度檢測系統，可對內部氧量進行監控 |
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4. 氧濃度監控范圍1~9999PPM；最低可達 ≤20PPM |
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5. LCD觸摸式 7”中英文彩色可編程控制器 |
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6. 全密封箱體設計，特別送氮和排氧回路，防氧化 |
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7. CBI專利設計雙門封結構，免除水冷管路閥件，可靠性高 |
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產品主要應用 |
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1. PI/BCB 膠高溫厭氧固化 |
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2. 環氧樹脂膠厭氧固化 |
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3. 晶圓退火或鈍化 |
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4. 掩模版清洗后無塵防氧化干燥 |
