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主要特點 |
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1. 配置CBI氧濃度及濕度實時監控系統 |
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2. 氧濃度監測范圍:0-30%(PPM級可選) |
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3. 潔凈度范圍:Class10級~1000級可選 |
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4. 塵埃粒徑通道:0.3um- 10um,6多通道顯示 |
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5. 主動送風及內循環設計,可提高控制精度和均勻性。 |
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6. 標準內容:650L/1200L |
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7. 節能可達90% |
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8. 采用低噪音免維護風機及進口品牌99.99%高效過濾器 |
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9. LCD智控系統可顯示,報警,記錄和數據導出等功能 |
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10. 選用防靜電噴涂,ROHS認證兼容無塵環境 |
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產品主要應用 |
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1. 硅片、LCD玻璃清洗后存放 |
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2. 精密元器件生產過程中暫存 |
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3. 現代微組裝工藝 |